Микроскоп электронный растровый JSM-6490LV
| Номер в ГРСИ РФ: | 63062-16 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | Фирма "Jeol", Япония |
Микроскоп электронный растровый JSM-6490LV (далее по тексту - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров микрорельефа твердых структур.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 63062-16 |
| Наименование | Микроскоп электронный растровый |
| Модель | JSM-6490LV |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | зав.№ MP14720011 |
Производитель / Заявитель
Фирма "JEOL Ltd.", Япония
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Зарегистрировано поверок | 4 |
| Найдено поверителей | 1 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 4 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 17.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 63062-16: Описание типа СИ | Скачать | 125.1 КБ | |
| 63062-16: Методика поверки МП 013.М1-15 | Скачать | 933.1 КБ |
Описание типа
Назначение
Микроскоп электронный растровый JSM-6490LV (далее по тексту - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров микрорельефа твердых структур.
Описание
Принцип работы микроскопа основан на взаимодействии электронного пучка с поверхностью объекта. Электронный луч непрерывно сканирует участок поверхности объекта, изображение которого формируется микроскопом. При этом каждая точка поверхности объекта, в границах поля зрения микроскопа, отображается соответствующей точкой на формируемом изображении. При взаимодействии электронного луча с поверхностью объекта единовременно возникает сразу несколько ответных сигналов. В зависимости от того, какой детектор сигнала в данный момент включен, микроскоп формирует то или иное конкретное изображение.
Микроскоп измеряет длину проекции геометрических расстояний на горизонтальную плоскость, т.е. расстояние между соответствующими точками на плоской и горизонтально ориентированной поверхности объекта.
Микроскоп укомплектован системой электронной литографии Xenos XeDraw 2, которая позволяет прорисовывать нужные конфигурации на поверхности чувствительного к элементному облучению резита, а так же системой энергодисперсионного рентгеновского микроанализа и дифракции отраженных электронов Bruker Quantax CrystAling200 для определения количественного и качественного состава образца.
Места пломбирования
Место нанесения
маркировки
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа электронного растрового JSM-6490LV с указанием мест пломбирования и мест нанесения маркировки
Место нанесения знака поверки
Место нанесения маркировки
Рисунок 2 - Микроскоп электронный растровый! SM-6490LV (вид сзади) с указанием мест
нанесения маркировки и знака поверки
Программное обеспечение
Все действия с микроскопом проводятся с помощью ПК, на котором установлено автономное программное обеспечение (ПО).
Интерфейсная часть программного обеспечения микроскопа запускается на ПК и служит для отображения, обработки и сохранения результатов измерений; она состоит из управляющей программы SEM Control User Interface.
Программное обеспечение SEM Control User Interface снабжено уникальной системой навигаторов, которые направляют пользователя на всех этапах процесса микроанализа, начиная с создания нового проекта и заканчивая созданием готового к печати отчета.
Система имеет три основных навигатора:
- Анализатор (позволяет проводить накопление спектра с участка образца, облучаемого электронным пучком);
- Point & ID (позволяет проводить накопление с участков образца, отмеченных на изображении, облучаемых сфокусированным электронным пучком в режиме сканирования);
- Картирование (позволяет проводить накопление спектра с выделенного участка образца, отмеченного на изображении, в режиме сканирования, с возможностью получения карты распределения по химическим элементам).
Результаты измерений заносятся в протокол, генерируемый программой, и хранятся на жестком диске компьютера.
Обмен данными между микроскопом и персональным компьютером осуществляется по порту USB.
Искажение данных при передаче через интерфейс связи исключается параметрами протокола.
Идентификационные данные ПО приведены в таблице 1.
Таблица 1
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
SEM Control User Interface |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
8.3 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
778E9E83424AF495FBAB43664B156384 |
|
Алгоритм хэширования |
MD5 |
Уровень защиты программного обеспечения от преднамеренных и непреднамеренных
изменений в соответствии с Р 50.2.077-2014 средний.
Технические характеристики
Таблица 2
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Диапазон измерений линейных размеров, мкм |
от 3 до 100 |
|
Диапазон показаний линейных размеров, мкм |
от 0,03 до 1000 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности, мкм: - в диапазоне от 3 до 100 мкм |
±0,1 |
|
Эффективный диаметр электронного зонда во вторичных электронах при 30 кВ, нм, не более |
120 |
|
Электропитание осуществляется от сети переменного тока с напряжением, В частотой, Гц |
220±5 50 ± 10 |
|
Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВ |
0,3 - 30 |
|
Г абаритные размеры основных составных частей, мм, не более блок электронно-оптической колонны операционный блок масляно-ротационный насос виброизолятор |
750x960x1480 1150x900x700 460x175x255 270x200x200 |
|
Масса основных составных частей, кг, не более блок электронно-оптической колонны операционный блок масляно-ротационный насос виброизолятор |
400 170 23 10 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей сред, ° С - относительная влажность воздуха, % не более - атмосферное давление, кПа |
20 ± 3 80 100 ± 4 |
Знак утверждения типа
наносится на заднюю панель корпуса микроскопа методом наклеивания и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
Таблица 3
|
Наименование |
Количество, шт |
|
Микроскоп электронный растровый JSM-6490LV |
1 |
|
Система электронной литографии Xenos XeDraw 2 |
1 |
|
Система энергодисперсионного рентгеновского микроанализа и дифракции отраженных электронов Bruker Quantax CrystAling200 |
1 |
|
Блок электронно-оптической колонны |
1 |
|
Блок управления |
1 |
|
Персональный компьютер |
1 |
|
CD-диск с ПО |
1 |
|
Масляно-ротационный насос |
2 |
|
Виброизолятор |
1 |
|
Набор инструментов |
1 |
|
Комплект принадлежностей для установки и транспортировки |
1 |
|
Руководство по эксплуатации |
1 |
|
Методика поверки |
1 |
Поверка
осуществляется по документу МП 013.М1-15 «Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскоп электронный растровый JSM-6490LV. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 10.03.2015 г.
Основные средства поверки:
Мера периода и высоты линейные TGZ1 (№ г.р. 41678-09)
Основные метрологические характеристики:
номинальное значение шага шаговой структуры меры 3 мкм,
допустимое отклонение от номинального значения шага периодической структуры не более, мкм ± 0,01.
Сведения о методах измерений
Руководство по эксплуатации «Микроскоп электронный растровый JSM-6490LV», раздел 6.
Нормативные документы
1 ГОСТ Р 8.763-2011 «Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1-10’9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм».
2 Техническая документация фирмы-изготовителя
Другие Микроскопы
