63062-16: JSM-6490LV Микроскоп электронный растровый - Производители, поставщики и поверители

Микроскоп электронный растровый JSM-6490LV

Номер в ГРСИ РФ: 63062-16
Категория: Микроскопы
Производитель / заявитель: Фирма "Jeol", Япония
Скачать
63062-16: Описание типа СИ Скачать 125.1 КБ
63062-16: Методика поверки МП 013.М1-15 Скачать 933.1 КБ
Нет данных о поставщике
Микроскоп электронный растровый JSM-6490LV поверка на: www.ktopoverit.ru
КтоПоверит
Онлайн-сервис метрологических услуг

Микроскоп электронный растровый JSM-6490LV (далее по тексту - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров микрорельефа твердых структур.

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру 63062-16
Наименование Микроскоп электронный растровый
Модель JSM-6490LV
Срок свидетельства (Или заводской номер) зав.№ MP14720011
Производитель / Заявитель

Фирма "JEOL Ltd.", Япония

Поверка

Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год
Зарегистрировано поверок 4
Найдено поверителей 1
Успешных поверок (СИ пригодно) 4 (100%)
Неуспешных поверок (СИ непригодно) 0 (0%)
Актуальность информации 24.03.2024

Поверители

Скачать

63062-16: Описание типа СИ Скачать 125.1 КБ
63062-16: Методика поверки МП 013.М1-15 Скачать 933.1 КБ

Описание типа

Назначение

Микроскоп электронный растровый JSM-6490LV (далее по тексту - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров микрорельефа твердых структур.

Описание

Принцип работы микроскопа основан на взаимодействии электронного пучка с поверхностью объекта. Электронный луч непрерывно сканирует участок поверхности объекта, изображение которого формируется микроскопом. При этом каждая точка поверхности объекта, в границах поля зрения микроскопа, отображается соответствующей точкой на формируемом изображении. При взаимодействии электронного луча с поверхностью объекта единовременно возникает сразу несколько ответных сигналов. В зависимости от того, какой детектор сигнала в данный момент включен, микроскоп формирует то или иное конкретное изображение.

Микроскоп измеряет длину проекции геометрических расстояний на горизонтальную плоскость, т.е. расстояние между соответствующими точками на плоской и горизонтально ориентированной поверхности объекта.

Микроскоп укомплектован системой электронной литографии Xenos XeDraw 2, которая позволяет прорисовывать нужные конфигурации на поверхности чувствительного к элементному облучению резита, а так же системой энергодисперсионного рентгеновского микроанализа и дифракции отраженных электронов Bruker Quantax CrystAling200 для определения количественного и качественного состава образца.

Места пломбирования

Место нанесения

маркировки

Рисунок 1 - Общий вид микроскопа электронного растрового JSM-6490LV с указанием мест пломбирования и мест нанесения маркировки

Место нанесения знака поверки

Место нанесения маркировки

Рисунок 2 - Микроскоп электронный растровый! SM-6490LV (вид сзади) с указанием мест

нанесения маркировки и знака поверки

Программное обеспечение

Все действия с микроскопом проводятся с помощью ПК, на котором установлено автономное программное обеспечение (ПО).

Интерфейсная часть программного обеспечения микроскопа запускается на ПК и служит для отображения, обработки и сохранения результатов измерений; она состоит из управляющей программы SEM Control User Interface.

Программное обеспечение SEM Control User Interface снабжено уникальной системой навигаторов, которые направляют пользователя на всех этапах процесса микроанализа, начиная с создания нового проекта и заканчивая созданием готового к печати отчета.

Система имеет три основных навигатора:

- Анализатор (позволяет проводить накопление спектра с участка образца, облучаемого электронным пучком);

- Point & ID (позволяет проводить накопление с участков образца, отмеченных на изображении, облучаемых сфокусированным электронным пучком в режиме сканирования);

- Картирование (позволяет проводить накопление спектра с выделенного участка образца, отмеченного на изображении, в режиме сканирования, с возможностью получения карты распределения по химическим элементам).

Результаты измерений заносятся в протокол, генерируемый программой, и хранятся на жестком диске компьютера.

Обмен данными между микроскопом и персональным компьютером осуществляется по порту USB.

Искажение данных при передаче через интерфейс связи исключается параметрами протокола.

Идентификационные данные ПО приведены в таблице 1.

Таблица 1

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Идентификационное наименование ПО

SEM Control User Interface

Номер версии (идентификационный номер) ПО

8.3

Цифровой идентификатор ПО

778E9E83424AF495FBAB43664B156384

Алгоритм хэширования

MD5

Уровень защиты программного обеспечения от преднамеренных и непреднамеренных

изменений в соответствии с Р 50.2.077-2014 средний.

Технические характеристики

Таблица 2

Наименование характеристики

Значение характеристики

Диапазон измерений линейных размеров, мкм

от 3 до 100

Диапазон показаний линейных размеров, мкм

от 0,03 до 1000

Пределы допускаемой абсолютной погрешности, мкм: - в диапазоне от 3 до 100 мкм

±0,1

Эффективный диаметр электронного зонда во вторичных электронах при 30 кВ, нм, не более

120

Электропитание осуществляется от сети переменного тока с напряжением, В частотой, Гц

220±5

50 ± 10

Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВ

0,3 - 30

Г абаритные размеры основных составных частей, мм, не более блок электронно-оптической колонны операционный блок масляно-ротационный насос виброизолятор

750x960x1480 1150x900x700 460x175x255 270x200x200

Масса основных составных частей, кг, не более блок электронно-оптической колонны операционный блок масляно-ротационный насос виброизолятор

400

170

23

10

Условия эксплуатации:

- температура окружающей сред, ° С

- относительная влажность воздуха, % не более

- атмосферное давление, кПа

20 ± 3 80

100 ± 4

Знак утверждения типа

наносится на заднюю панель корпуса микроскопа методом наклеивания и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.

Комплектность

Таблица 3

Наименование

Количество, шт

Микроскоп электронный растровый JSM-6490LV

1

Система электронной литографии Xenos XeDraw 2

1

Система энергодисперсионного рентгеновского микроанализа и дифракции отраженных электронов Bruker Quantax CrystAling200

1

Блок электронно-оптической колонны

1

Блок управления

1

Персональный компьютер

1

CD-диск с ПО

1

Масляно-ротационный насос

2

Виброизолятор

1

Набор инструментов

1

Комплект принадлежностей для установки и транспортировки

1

Руководство по эксплуатации

1

Методика поверки

1

Поверка

осуществляется по документу МП 013.М1-15 «Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскоп электронный растровый JSM-6490LV. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 10.03.2015 г.

Основные средства поверки:

Мера периода и высоты линейные TGZ1 (№ г.р. 41678-09)

Основные метрологические характеристики:

номинальное значение шага шаговой структуры меры 3 мкм,

допустимое отклонение от номинального значения шага периодической структуры не более, мкм ± 0,01.

Сведения о методах измерений

Руководство по эксплуатации «Микроскоп электронный растровый JSM-6490LV», раздел 6.

Нормативные документы

1 ГОСТ Р 8.763-2011 «Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1-10’9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм».

2 Техническая документация фирмы-изготовителя

Другие Микроскопы

63408-16
МИМ-340 Микроскопы лазерные МИМ с длинноходовыми предметными столами
АО "ПО "Уральский оптико-механический завод им.Э.С.Яламова" (УОМЗ), г.Екатеринбург
Микроскопы лазерные МИМ с длинноходовыми предметными столами МИМ-340 (далее по тексту - микроскопы МИМ), предназначены для трехмерного анализа рельефа отражающей поверхности в микро- и нанодиапазоне, создания графических изображений и их цифрового ан...
64214-16
Nikon MM Микроскопы измерительные
Компания "Nikon Corporation", Япония
Микроскопы измерительные Nikon MM (далее по тексту - микроскопы) предназначены для бесконтактных измерений линейных размеров деталей.
64204-16
LEXT OLS 4100 Микроскоп конфокальный лазерный
Фирма "OLYMPUS Corporation", Япония
Микроскоп конфокальный лазерный LEXT OLS 4100 (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров в нано- и микрометровом диапазонах и анализа поверхностей объектов.
64047-16
SOLVER NEXT, TITANIUM Микроскопы сканирующие зондовые
ООО "Научно-техническая компания" (НТК), г.Химки
Микроскопы сканирующие зондовые SOLVER NEXT, TITANIUM (далее C3M) предназначены для измерений геометрических параметров микрорельефа поверхности твёрдых тел.
Микроскопы видеоизмерительные серии Venture модификации 2510, 3030, 2510-CNC, 3030-CNC и серии Venture Plus модификации VP-6460, VP-6490, VP-101040, VP-101540 (далее -микроскопы) предназначены для измерений бесконтактным и контактным методом двухмерн...