Микроскопы лазерные МИМ с длинноходовыми предметными столами МИМ-340
| Номер в ГРСИ РФ: | 63408-16 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | ПО "Уральский оптико-механический завод" (УОМЗ), г.Екатеринбург |
Микроскопы лазерные МИМ с длинноходовыми предметными столами МИМ-340 (далее по тексту - микроскопы МИМ), предназначены для трехмерного анализа рельефа отражающей поверхности в микро- и нанодиапазоне, создания графических изображений и их цифрового анализа с целью получения высокоточных данных о структуре поверхности исследуемого объекта.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 63408-16 |
| Наименование | Микроскопы лазерные МИМ с длинноходовыми предметными столами |
| Модель | МИМ-340 |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | 11.03.2021 |
Производитель / Заявитель
АО "ПО "Уральский оптико-механический завод им.Э.С.Яламова" (УОМЗ), г.Екатеринбург
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Актуальность информации | 17.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 63408-16: Описание типа СИ | Скачать | 109.3 КБ | |
| 63408-16: Методика поверки МП 057.М44-15 | Скачать | 974.4 КБ |
Описание типа
Назначение
Микроскопы лазерные МИМ с длинноходовыми предметными столами МИМ-340 (далее по тексту - микроскопы МИМ), предназначены для трехмерного анализа рельефа отражающей поверхности в микро- и нанодиапазоне, создания графических изображений и их цифрового анализа с целью получения высокоточных данных о структуре поверхности исследуемого объекта.
Описание
Принцип действия микроскопов лазерных МИМ с длинноходовым предметным столом, основан на интерференции световых пучков лазерного излучения, отраженных от опорного зеркала и поверхности измеряемого микрообъекта.
Основой микроскопов МИМ является микроинтерферометр, построенный по схеме Линника. Для расширения диапазона и повышения точности измерений реализован метод дискретного фазового сдвига при помощи управляемого от компьютера зеркала на пьезоэлементе (пьезозеркала), встроенного в опорное плечо микроинтерферометра. Интерференционные картины при различных положениях пьезозеркала регистрируются с помощью высокочувствительной видеокамеры и обрабатываются на ПЭВМ. В результате обработки восстанавливается оптическая разность хода, на основе которой получаются данные о высоте профиля поверхности. Микроскоп позволяет измерять параметры высоты профиля поверхности, изменяющиеся во времени - динамические параметры, с частотой до 3 Гц в диапазоне от 0,03 до 3 мкм в латеральной плоскости и от Х/350 до Х/4 по высоте. Результаты измерений отображаются на экране компьютера в виде топографических изображений (псевдоцветных карт), а также двумерных профилей с текстовой (цифровой) информацией о структуре и статистических параметрах рельефа измеряемого микрообъекта
Места нанесения маркировки и знака поверки
Рисунок 1 - Общий вид микроскопов лазерных МИМ с длинноходовыми предметными столами модель МИМ-340 с обозначением мест пломбирования, нанесения маркировки и знака поверки
Программное обеспечение
Для управления микроскопами МИМ предназначена рабочая станция с двумя мониторами и установленным программным обеспечением: MIMSoft-3 - для настройки и управления работой оптической системы микроскопов МИМ, MIM Visualizer - для анализа и обработки результатов исследования; MIM Stage - для управления длинноходовым предметным столом.
Программа MIM Soft-3 предназначена для управления оптической системой микроскопов МИМ. Она позволяет использовать любые аппаратные и программные настройки узлов оптической системы микроскопов МИМ для работы в различных режимах, а также получать и сохранять исследовательские данные и настройки всех узлов оптической системы микроскопов в специальном формате .tlk. Позволяет оптимизировать процедуру получения изображений исследуемого образца микроструктуры в режимах измерения микрорельефа, белого света, отражения в лазерном свете при различных поляризациях.
Программа MIM Stage предназначена для управления длинноходовым предметным столом микроскопов МИМ и позволяет получать, использовать и сохранять аппаратные и программные настройки элементов длинноходового предметного стола для работы приборов в различных режимах перемещения длинноходового предметного стола, а также обеспечивает взаимосвязь растровых и интерференционных датчиков перемещений с контроллерами управления координатными приводами длинноходового предметного стола по особому алгоритму, обеспечивающему минимальную ошибку позиционирования при подходе к точке с заданными координатами
Программа MIM Visualizer предназначена для визуализации и обработки результатов исследования материаловедческой микроструктуры на микроскопах МИМ. Программа предназначена для редактирования фазовых изображений, калибровки масштаба изображения, формирования «масштабного отрезка», измерения длин отрезков и углов, медианной фильтрации изображения; построения профиля сечения фазового изображения в произвольном направлении, восстановления скачков фазы 1/2, анализа гистограммы распределения высот и вычитания фона, пространственного Фурье-преобразования изображения и вычитания шумов, вычитания поверхностей первого и второго порядка, поворота изображения на произвольный угол; построения и отображения трехмерного вида объекта.
Таблица 1
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение | ||
|
Идентификационное наименование ПО |
MIM Visualizer |
MIM Soft-3 |
MIM Stage |
|
Номер версии (идентификационный номер )ПО |
1.0.0.1 |
1.0.0.1 |
1.0.0.1 |
|
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
f32c1789d26e20b5e8421 45f806431de |
5e873a48492 8e754bae02d 1a573cd504 |
c9d8af31e15 720c4f9c0a5 6ab2aa9c14 |
|
Алгоритм хэширования |
MD5 |
MD5 |
MD5 |
Программное обеспечение размещается в энергонезависимой памяти персонального компьютера. Несанкционированный доступ к программному обеспечению исключён посредством ограничения прав учетной записи пользователя.
Защита ПО от преднамеренных и непреднамеренных воздействий соответствует уровню «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Технические характеристики
Таблица 2
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Длина волны излучения, мкм |
0,405 |
|
Диапазон показаний линейных размеров по вертикали, мкм |
0,0003 - 0,2 |
|
Диапазон измерения линейных размеров по вертикали, мкм |
0,01 - 0,1 |
|
Диапазон измерения линейных размеров в латеральной плоскости (для объектива 100х), мкм |
0,1 - 8 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения линейных размеров, нм: - по вертикали - в латеральной плоскости (для объектива 100х) |
±10 ±100 |
|
Время измерения одного кадра, с |
0,30 ± 3,00х10-2 |
|
Длина хода предметного стола, мм: - по координате Х - по координате Y - по координате Z |
230±5 245±5 70±5 |
|
Скорость перемещения предметного стола, мм/с, не менее - по координатам Х и Y - по координате Z |
1,0 0,01 |
|
Электропитание осуществляется от сети переменного тока с напряжением, В частотой, Гц |
220±22 50±0,4 |
|
Потребляемая мощность, кВт, не более |
1,0 |
|
Г абаритные размеры, мм, не более |
1100x860x1600 |
|
Масса, кг, не более |
900 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность воздуха, не более, % - атмосферное давление, мм рт. ст. |
20±3 80 (при 25°С) 630 - 800 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати и на корпус
микроскопа методом наклеивания.
Комплектность
Таблица 3
|
Наименование и обозначение |
Количество, шт. |
|
Микроскоп лазерный МИМ с длинноходовым предметным столом |
1 |
|
Станция рабочая iMac с монитором Apple Thunderbolt Display |
1 |
|
Компакт-диск с руководством по эксплуатации 4001.00000000 РЭ |
1 |
Продолжение таблицы 3
|
Наименование и обозначение |
Количество, шт. |
|
Паспорт 4001.00000000 ПС |
1 |
|
Упаковка 4001.02000000- ящики для транспортировки |
11) |
|
Компрессор винтовой АВАС GENESIS 5,5-13/2702) |
1 |
|
Кабель сетевой Hyperline PWC-IEC13-SHM-3.0-BK |
1 |
|
Кабель USB 2.0 А/В (L=3 м) |
1 |
|
Рым-болт М12.019 ГОСТ 4751 |
4 |
|
Переходник 578342 NPQH-D-G14-Q8-P10, Festo 2) |
1 |
|
Ниппель переходной D c уплотнителем 534145 D-1/4I-3/4A, Festo2) |
1 |
|
Пневмошланг полимерный 159666 PUN-8x1,25-BL, Festo |
1 |
|
Кран шаровой Base VT.217.N.05, Valtec (для подключения пневмошланга к компрессору) |
1 |
|
Провод РПШ 4х1,5 (380) ТУ 16.К18-001 |
1 |
|
Призма 4001.00000101 |
1 |
|
Стекло предметное 4001.00000102 |
100 |
|
Микрообъектив MPLFLN 100х/0,9, OLYMPUS |
12) |
|
Микрообъектив MPLFLN 2,5х/0,08, OLYMPUS |
12) |
|
Микрообъектив MPLFLN 5х/0,15, OLYMPUS |
12) |
|
Микрообъектив MPLFLN 10х/0,3, OLYMPUS |
12) |
|
CD-диск с программным обеспечением |
1 |
|
Методика поверки |
1 |
|
1) Упаковка возвратная 2) По заказу потребителя | |
Поверка
осуществляется по документу МП057.М44-15 «ГСИ. Микроскопы лазерные МИМ с длинноходовыми предметными столами МИМ-340. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 15 апреля 2015 г.
Основные средства поверки:
1 Эталон - мера периода и высоты линейная TGZ2 (ГР СИ № 41678-09) с
аттестованным значением абсолютной погрешности определения высоты выступов не более ± 0,005 мкм.
2 Мера периода линейная TDG01 (ГР СИ № 41676-09), пределы абсолютной
погрешности определения высоты выступов не более ± 0,001 мкм.
Сведения о методах измерений
«Микроскопы лазерные МИМ с длинноходовыми предметными столами модель
МИМ-340. Руководство по эксплуатации 4001.00000000 РЭ», раздел 8
Нормативные документы
ТУ 4431-131-07539541-2012 «Микроскопы лазерные МИМ с длинноходовыми предметными столами МИМ-340. Технические условия»
Другие Микроскопы
