Эллипсометр FILMTEK 2000 PAR-SE
| Номер в ГРСИ РФ: | 66804-17 |
|---|---|
| Категория: | Эллипсометры |
| Производитель / заявитель: | Фирма "Scientific Computing International", США |
Эллипсометр FilmTek 2000 PAR-SЕ (далее по тексту - эллипсометр) предназначен для измерения оптических характеристик (эллипсометрические углы Пси и Дельта) полупрозрачных пленок (полупроводниковые, диэлектрические, электрооптические, SOI или SOS материалы; многослойные, оптические антиотражающие покрытия; тонкие металлы; материалы планарных волноводов; стекло с покрытием; многослойные тонкопленочные структуры).
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 66804-17 |
| Наименование | Эллипсометр |
| Модель | FILMTEK 2000 PAR-SE |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | зав.№ 140917 |
Производитель / Заявитель
Фирма "Scientific Computing International", США
Поверка
| Зарегистрировано поверок | 4 |
| Найдено поверителей | 1 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 3 (75%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 1 (25%) |
| Актуальность информации | 17.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 66804-17: Описание типа СИ | Скачать | 129.4 КБ | |
| 66804-17: Методика поверки МП 059.М44-16 | Скачать | 1.4 MБ |
Описание типа
Назначение
Эллипсометр FilmTek 2000 PAR-SE (далее по тексту - эллипсометр) предназначен для измерения оптических характеристик (эллипсометрические углы Пси и Дельта) полупрозрачных пленок (полупроводниковые, диэлектрические, электрооптические, SOI или SOS материалы; многослойные, оптические антиотражающие покрытия; тонкие металлы; материалы планарных волноводов; стекло с покрытием; многослойные тонкопленочные структуры).
Описание
Принцип действия эллипсометра основан на комбинировании двух методов исследования тонких пленок - спектральной эллипсометрии с вращающимся компенсатором и многоракурсной поляризационной рефлектометрии. Оба метода рефлектометрия и эллипсометрия основаны на регистрации изменений параметров света, прошедшего или отраженного от исследуемого объекта. В методе рефлектометрии регистрируются изменения интенсивности отраженного света, а в методе эллипсометрии - изменения поляризационных параметров света, которые называются эллипсометрическими углами Пси и Дельта.
В эллипсометре сбор данных проводится по трем измерительным каналам:
- рефлектометрия (спектрофотометрия) при нормальном падении света на объект;
- рефлектометрия поляризованного света при отражении под углом 70 градусов;
- спектральная эллипсометрия под углом 70 градусов.
В состав средства измерений входят спектральный эллипсометр, источник света Hamamatsu L10290 с размером пятна от 25 до 300 мкм (при нормальном падении) и 2 мм (при падении под углом 70°), приборный столик с тефлоновым покрытием, цифровая камера CCD STC-620CC, роботизированная система загрузки пластин Brooks с автофокусировкой, 6 встроенных калибровочных эллипсометрических пластин (сер.№ 1 - 6), фильтровентиляционный модуль типа HEPA, 8’’ SMIF порт, ПК с многоядерным процессором и операционной системой Windows 7 ™.
Общий вид автоматизированного аппаратного оборудования эллипсометра представлен на рисунке 1.
1
3
4
2
Рисунок 1 - Общий вид автоматизированного аппаратного оборудования эллипсометра FILMTEK 2000 PAR-SE: 1 - Рефлектометр PAR нормального освещения объекта, 2 - плечо освещения объекта под углом 70°, 3 - плечо регистрации излучения, отраженного от объекта под углом 70 °, 4 - видеокамера с регулировкой увеличения для наблюдения области измерения объекта
Схема пломбировки от несанкционированного доступа, маркировка и обозначение места нанесения знака поверки представлены на рисунке 2.
1
2
3
Рисунок 2 - Внешний вид оборудования эллипсометра FILMTEK 2000 PAR-SE: 1 - место нанесения знака поверки, 2 - маркировка, 3 - пломбировка от несанкционированного доступа
Программное обеспечение
Управление процессом измерения в эллипсометре осуществляется с помощью специального программного обеспечения Film Tek SE. Программное обеспечение служит для настройки эллипсометра, проведения измерений, включая визуальный анализ экспериментальных данных, анализ и обработку полученных данных.
ПО имеет пользовательский интерфейс, ввод данных производится с помощью клавиатуры и мыши на персональном компьютере.
Программное обеспечение (ПО) имеет следующие идентификационные данные:
Таблица 1
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
Film Tek SE |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
87.3.3 и выше |
|
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
- |
|
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
- |
Программное обеспечение устанавливается в определенную директорию жесткого диска персонального компьютера. Несанкционированный доступ к программному обеспечению исключён посредством ограничения прав учетной записи пользователя, а также наличием пароля.
Установка обновленных версий ПО допускается только представителями предприятия-изготовителя с помощью специального оборудования.
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «средний» согласно Р 50.2.077-2014.
Технические характеристики
приведены в таблице 2.
Таблица 2
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Метрологические характеристики | |
|
Диапазон измерения величины эллипсометрических углов, градус: -Пси -Дельта |
от 0 до 90 от 0 до 360 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения величин эллипсометрических углов, градус: -Пси -Дельта |
±0,2 ±0,3 |
|
Технические характеристики | |
|
Спектральный диапазон показаний, нм |
от 200 до 1700 |
|
Диапазон показаний толщин, мкм |
от 0,0001 до 150 |
|
Габаритные размеры, мм, не более |
1651x1397x1854 |
|
Электропитание осуществляется от сети переменного тока с напряжением, В частотой, Гц |
От 210 до 230 50/60 |
|
Потребляемая мощность, кВт, не более |
2,2 |
|
Условия эксплуатации: Температура окружающей среды, °С Относительная влажность, не более % |
от +15 до +35 80 |
Знак утверждения типа
наносится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации и на корпус прибора методом наклеивания.
Комплектность
Таблица 3
|
Наименование |
Количество, шт |
|
Эллипсометр FilmTek 2000 Par-SE зав. N 140917 в составе: -Спектральный эллипсометр (RCE) (70°, 380 нм-900 нм) -Источник света Hamamatsu L10290 - Приборный столик с тефлоновым покрытием - Цифровая камера CCD STC-620CC - Роботизированная система загрузки пластин Brooks - Фильтро-вентиляционный модуль (ФВМ) типа HEPA - 8’’ SMIF порт |
1 |
|
Встраиваемые калибровочные эллипсометрические пластины: - сер.№ 1, толщина оксидной пленки 11 А, - сер.№ 2, толщина оксидной пленки 140 А, - сер. № 3, толщина оксидной пленки 250 А, - сер. № 4, толщина оксидной пленки 620 А, - сер. № 5, толщина оксидной пленки 1000 А, - сер. № 6, толщина оксидной пленки 3000 А. |
6 |
|
Персональный компьютер |
1 |
|
Методика поверки |
1 |
|
Руководство по эксплуатации |
1 |
Поверка
осуществляется по документу МП 059.М44-16 «Государственная система обеспечения единства измерений Эллипсометр FilmTek 2000PAR-SE. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 28 декабря 2016 г.
Основные средства поверки:
Государственный рабочий эталон 2-го разряда единиц эллипсометрических углов в диапазоне от 0 до 360° по углу Дельта и от 0 до 90° по углу Пси согласно ГОСТ 8.605-2011.
Таблица 4 - Основные метрологические характеристики
|
Тип и серийный номер пластины |
Значение эллипсометрических углов на длине волны 632.6 нм, градус | |
|
Пси |
Дельта | |
|
L118SW-100, №1108-4ECS |
11.60 |
149.52 |
|
L118SW-2000, №1108-21ECS |
29.40 |
274.96 |
Расширенная неопределенность измерений угла Пси - 0,05 градус.
Расширенная неопределенность измерений угла Дельта - 0,08 градус.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке в виде наклейки или оттиска поверительного клейма.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
1 ГОСТ 8.605-2011 «Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ).
Государственная поверочная схема для средств измерений эллипсометрических углов»
2 Техническая документация фирмы «Scientific Computing International», США
Другие Эллипсометры
