Микроскопы конфокальные лазерные измерительные LEXT OLS5000
| Номер в ГРСИ РФ: | 76632-19 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | Компания "Olympus NDT, Inc.", США |
Микроскопы конфокальные лазерные измерительные LEXT OLS5000 (далее - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров элементов рельефа по осям Х, Y и Z и параметров шероховатости поверхности твердотельных объектов.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 76632-19 |
| Наименование | Микроскопы конфокальные лазерные измерительные |
| Модель | LEXT OLS5000 |
| Страна-производитель | ЯПОНИЯ |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | 29.11.2024 |
Производитель / Заявитель
Фирма "OLYMPUS Corporation", Япония
ЯПОНИЯ
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Зарегистрировано поверок | 15 |
| Найдено поверителей | 1 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 15 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 21.04.2024 |
Поверители
Скачать
| 76632-19: Описание типа СИ | Скачать | 100.5 КБ | |
| 76632-19: Методика поверки | Скачать | 9 MБ |
Описание типа
Назначение
Микроскопы конфокальные лазерные измерительные LEXT OLS5000 (далее - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров элементов рельефа по осям Х, Y и Z и параметров шероховатости поверхности твердотельных объектов.
Описание
Принцип действия микроскопа основан на использованием диафрагмы, размещённой в плоскости промежуточного изображения и ограничивающей поток фонового рассеянного света, излучаемого не из фокальной плоскости объектива. Данная диафрагма играет роль пространственного фильтра: чем меньше диаметр диафрагмы, тем меньше размеры области, из которой выходит излучение, способное пройти через указанную диафрагму и сделать вклад в информативный сигнал.
В конфокальном микроскопе в каждый момент времени происходит регистрация изображения из одной точки объекта. Полное изображение объекта в конфокальном микроскопе формируется путем последовательной регистрации света, исходящего из этих элементарных объемов с применением сканирующей системы. Это позволяет получить серии изображений на различных глубинах фокальной плоскости внутри образца (т. н. оптическое секционирование образца по глубине), и затем реконструировать трехмерное изображение образца из этих серий.
В Микроскопе использован сканер новой конструкции, который обладает пониженной дисторсией и минимальными оптическими абберациями. Для отклонения по оси Х используется МЭМС - сканер с электромагнитным приводом, а по оси Y - гальваносканер. Для удобства работы в Микроскопе реализована двухканальная система конфокальной оптики с двумя различными конфокальными диафрагмами. Выбор диафрагмы осуществляется автоматически в зависимости от типа объектива и режима получения изображения.
Микроскоп включает две оптические системы:
- лазерную конфокальную оптическую систему, использующую лазерный диод с длиной волны 405 нм и высокочувствительный фотоумножитель,
- оптическую систему цветного изображения с белым светодиодом и CMOS матрицей.
Конструктивно Микроскоп состоит из основного блока, выполненного в настольном исполнении, блока электроники и персонального компьютера с предустановленным программным обеспечением для управления работой микроскопа. Основной блок включает столик образцов, перемещаемый по осям X, Y ручным приводом или автоматически в зависимости от модели микроскопа, и измерительную оптическую головку с набором объективов, перемещение которой по оси Z контролируется измерительной системой микроскопа.
Микроскоп имеет несколько модификаций: OLS5000-SAF, OLS5000-SMF, OLS5000-LAF, OLS5000-EAF, OLS5000-EMF, которые отличаются приводом столика образцов и диапазоном его перемещения, а также максимальной высотой исследуемого объекта.
Пломбирование микроскопа не предусмотрено. Общий вид микроскопа и место нанесения знака поверки приведены на рисунке 1.
Место нанесения знака поверки
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа конфокального лазерного LEXT OLS 5000
Программное обеспечение
Управление микроскопом и обработки результатов измерений осуществляется с помощью встроенной ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО) «OLYMPUS OLS5000». ПО «OLYMPUS OLS5000» позволяет проводить измерения линейных размеров элементов рельефа по осям X, Y Z, в том числе определять в автоматическом режиме значение шага шаговых структур, измерять параметры шероховатости поверхности, толщину пленок, производить сшивку изображений, полученных в различных положениях столика объектов в условиях частичного перекрытия изображений. ПО «OLYMPUS OLS5000» не может быть использовано отдельно от микроскопа.
Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1.
Таблица 1
|
Идентификационное наименование ПО |
OLYMPUS OLS5000 |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
1.2.1.116 или выше |
|
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
- |
|
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
- |
Уровень защиты ПО соответствует типу «средний» согласно Р 50.2.077-2014.
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм |
от 0,5 до 800,0 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, мкм (где L - измеряемая длина, мкм) |
±(0,15+L/100) |
|
СКО случайной составляющей погрешности измерений линейных размеров по оси Z, мкм, не более - объектив 20х - объектив 50х - объектив 100х |
0,030 0,012 0,012 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z на сшитых панорамных изображениях (для модификаций SAF и EAF), мкм (где L - измеряемая длина, мкм) - объектив 10х - объектив 20х или выше |
±(5,0+L/100) ±(1,0+L/100) |
|
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY в пределах поля зрения объектива, мкм - объектив 10х - объектив 20х - объектив 50х - объектив 100х |
от 30 до 1200 от 15 до 600 от 5 до 250 от 2 до 120 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY в пределах поля зрения объектива, % |
±1,5 |
|
СКО случайной составляющей погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY в пределах поля зрения объектива, мкм, не более - объектив 20х - объектив 50х - объектив 100х |
0,05 0,04 0,02 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY на сшитых панорамных изображениях (для модификаций SAF и EAF), мкм (где L - измеряемая длина, мм) - объектив 10х - объектив 20х - объектив 50х - объектив 100х |
±(24+L/2) ±(15+L/2) ±(9+L/2) ±(7+L/2) |
|
Диапазон измерений шероховатости, мкм, по параметру - Ra - Rz |
от 0,025 до 100 от 0,05 до 200 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений шероховатости, мкм, по параметру - Ra - Rz (где Ra, Rz - параметры шероховатости, мкм) |
±(0,003+0,04-Ra) ±(0,006+0,04<Rz) |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Модификация прибора | ||||
|
OLS5000-SAF |
OLS5000-SMF |
OLS5000-LAF |
OLS5000-EAF |
OLS5000-EMF | |
|
Разрешение в плоскости XY, нм, не более |
1 | ||||
|
Разрешение по оси Z, нм, не более |
0,5 | ||||
|
Диапазон перемещения столика образцов, мм |
100х100 |
100х100 |
300х300 |
100х100 |
100х100 |
|
Привод столика образцов |
моторизованный |
ручной |
моторизованный |
моторизованный |
ручной |
|
Максимальная высота образцов, мм |
100 |
40 |
37 |
210 |
150 |
|
Масса, кг, не более - основной блок; -блок электроники |
31 |
32 |
50 |
43 |
44 |
|
12 | |||||
|
Габаритные размеры (ДхШхВ), мм, не более: - основной блок - блок электроники |
360х275х510 180х360х380 | ||||
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С -относительная влажность воздуха, %, не более |
от +18 до +22 80 | ||||
|
Напряжение питания от однофазной сети переменного тока частотой 50/60 Гц, В |
от 210 до 230 | ||||
|
Потребляемая мощность, Вт, не более |
280 | ||||
Знак утверждения типа
наносится на лицевую панель основного блока в виде наклейки и на титульвнный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Комплектность
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Микроскоп конфокальный лазерный измерительный |
LEXT OLS5000-X, где Х: SAF (либо SMF, LAF, EAF, EMF) |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации |
- |
1 экз. |
|
Методика поверки |
- |
1 экз. |
Поверка
осуществляется по документу МП 76632-19 «Микроскопы конфокальные лазерные измерительные LEXT OLS5000. Методика поверки», утвержденному АО «НИЦПВ» 08 июня 2019 г.
Основные средства поверки:
- мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К (рег. № 33598-06);
- меры длины концевые плоскопараллельные номинальным значением 0,5 мм и 1 мм 3-го разряда согласно Государственной поверочной схеме (Приказ Росстандарта от 29.12.2018 г. №2840);
- объект-микрометр ОМО (рег. № 590-63);
- мера длины штриховая типа ПБ по ГОСТ 12069-90 (диапазон измерений 0-200 мм);
- меры шероховатости эталонные ПРО-10 (рег. № 66933-17) с номинальными значениями по параметру шероховатости Ra 0,025 мкм и 77 мкм.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемого микроскопа с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на лицевую панель основного блока микроскопа в виде наклейки, как показано на рисунке 1 и на свидетельство о поверке.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационной документации.
Нормативные документы
Техническая документация фирмы-изготовителя
Другие Микроскопы
