Микроскопы конфокальные лазерные измерительные LEXT OLS5100
| Номер в ГРСИ РФ: | 87161-22 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | Компания "Olympus NDT, Inc.", США |
Микроскопы конфокальные лазерные измерительные LEXT OLS5100 (далее - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров элементов рельефа по осям Х, Y и Z и параметров шероховатости поверхности твердотельных объектов.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 87161-22 |
| Наименование | Микроскопы конфокальные лазерные измерительные |
| Модель | LEXT OLS5100 |
Производитель / Заявитель
Фирма OLYMPUS Corporation, Япония
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Зарегистрировано поверок | 17 |
| Найдено поверителей | 1 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 17 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 24.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 87161-22: Описание типа СИ | Скачать | 370.6 КБ | |
| 87161-22: Методика поверки | Скачать | 9.7 MБ |
Описание типа
Назначение
Микроскопы конфокальные лазерные измерительные LEXT OLS5100 (далее - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров элементов рельефа по осям Х, Y и Z и параметров шероховатости поверхности твердотельных объектов.
Описание
Принцип действия микроскопов основан на использовании диафрагмы, размещённой в плоскости промежуточного изображения и ограничивающей поток фонового рассеянного света, излучаемого не из фокальной плоскости объектива. Данная диафрагма играет роль пространственного фильтра: чем меньше диаметр диафрагмы, тем меньше размеры области, из которой выходит излучение, способное пройти через указанную диафрагму и сделать вклад в информативный сигнал.
Конструкция микроскопов основана на использовании методов оптической микроскопии и оптической профилометрии, где в качестве источника оптического излучения используется лазер. Результатом измерений является получение информации о линейных размерах как в плоскости XY, так и по оси Z.
В конфокальном микроскопе в каждый момент времени происходит регистрация изображения из одной точки объекта. Полное изображение объекта в конфокальном микроскопе формируется путем последовательной регистрации света, исходящего из этих элементарных объемов с применением сканирующей системы. Это позволяет получить серии изображений на различных глубинах фокальной плоскости внутри образца (т. н. оптическое секционирование образца по глубине), и затем реконструировать трехмерное изображение образца из этих серий.
В микроскопе использован сканер новой конструкции, который обладает пониженной дисторсией и минимальными оптическими абберациями. Для отклонения по оси Х используется МЭМС - сканер с электромагнитным приводом, а по оси Y - гальваносканер. Для удобства работы в микроскопе реализована двухканальная система конфокальной оптики с двумя различными конфокальными диафрагмами. Выбор диафрагмы осуществляется автоматически в зависимости от типа объектива и режима получения изображения.
Микроскоп включает две оптические системы:
- лазерную конфокальную оптическую систему, использующую лазерный диод с длиной волны 405 нм и высокочувствительный фотоумножитель,
- оптическую систему цветного изображения с белым светодиодом и CMOS матрицей.
Конструктивно микроскоп состоит из основного блока, выполненного в настольном исполнении, блока электроники и персонального компьютера с предустановленным программным обеспечением для управления работой микроскопа. Основной блок включает столик образцов, перемещаемый по осям X, Y ручным приводом или автоматически в зависимости от модели микроскопа, и измерительную оптическую головку с набором объективов, перемещение которой по оси Z контролируется измерительной системой микроскопа.
Микроскопы выпускают в модификациях OLS5100-SAF, OLS5100-SMF, OLS5100-EAF, OLS5100-HSU, которые отличаются приводом столика образцов и диапазоном его перемещения, а также максимальной высотой исследуемого объекта.
Пломбирование микроскопов не предусмотрено. Заводской номер в буквенночисловом формате нанесен на шильдик типографским способом на задней панели основного блока. Общий вид микроскопов и место нанесения знака поверки приведены на рисунках 1 - 3.
Рисунок 1 - Общий вид микроскопов конфокальных лазерных LEXT OLS5100 модификаций OLS5100-SAF, OLS5100-SMF
Место нанесения знака утверждения типа
Место нанесения знака поверки
Место нанесения знака утверждения типа
Рисунок 2 - Общий вид микроскопов конфокальных лазерных LEXT OLS5100 модифика-
Место нанесения знака поверки
ций OLS5100-EAF
Место нанесения знака утверждения типа
Рисунок 3 - Общий вид микроскопов конфокальных лазерных LEXT OLS5100 модификаций OLS5100-HSU
Место нанесения знака поверки
Программное обеспечение
Управление микроскопом и обработки результатов измерений осуществляется с помощью встроенной ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО) «OLYMPUS OLS5100». ПО «OLYMPUS OLS5100» позволяет проводить измерения линейных размеров элементов рельефа по осям X, Y Z, в том числе определять в автоматическом режиме значение шага шаговых структур, измерять параметры шероховатости поверхности, толщину пленок, производить сшивку изображений, полученных в различных положениях столика объектов в условиях частичного перекрытия изображений. ПО «OLYMPUS OLS5100» не может быть использовано отдельно от микроскопа.
Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1.
Таблица 1
|
Идентификационное наименование ПО |
OLYMPUS OLS5100 |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО (Acquisition) |
2.1.1.7986 или выше |
|
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
- |
Уровень защиты ПО соответствует типу «средний» согласно Р 50.2.077-2014.
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY в пределах поля зрения объектива, мкм - объектив 10х |
от 30 до 1200 |
|
- объектив 20х |
от 15 до 600 |
|
- объектив 50х |
от 5 до 250 |
|
- объектив 100х |
от 2 до 120 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY в пределах поля зрения объектива, % |
±1,5 |
|
СКО случайной составляющей погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY в пределах поля зрения объектива, мкм, не более - объектив 20х |
0,05 |
|
- объектив 50х |
0,04 |
|
- объектив 100х |
0,02 |
|
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY на сшитых панорамных изображениях (для модификаций SAF и EAF), мкм |
от 30 до 100000 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY на сшитых панорамных изображениях (для модификаций SAF и EAF), мкм (где L - измеряемая длина, мм) - объектив 10х |
±(24+L/4) |
|
- объектив 20х |
±(15+L/4) |
|
- объектив 50х |
±(9+L/4) |
|
- объектив 100х |
±(7+L/4) |
|
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм |
от 0 до 9500 |
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, мкм (где L - измеряемая длина, мкм) |
±(0,15+L/100) |
|
СКО случайной составляющей погрешности измерений линейных размеров по оси Z, мкм, не более - объектив 20х - объектив 50х или 100х |
0,03 0,012 |
|
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z на сшитых панорамных изображениях (для модификаций SAF и EAF), мкм |
от 0 до 9500 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z на сшитых панорамных изображениях (для модификаций SAF и EAF), мкм (где L - измеряемая длина, мкм) - объектив 10х - объектив 20х или выше |
±(5,0+L/100) ±(1,0+L/100) |
|
Диапазон измерений шероховатости, мкм, по параметру - Ra - Rz |
от 0,005 до 50 от 0,01 до 100 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений шероховатости, мкм, по параметру - Ra - Rz (где Ra, Rz - параметры шероховатости, мкм) |
±(0,003+0,04-Ra) ±(0,006+0,04-Rz) |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Модификация прибора | |||
|
OLS5100-SAF |
OLS5100-SMF |
OLS5100-EAF |
OLS5100-HSU | |
|
Разрешение в плоскости XY, нм, не более |
1 | |||
|
Разрешение по оси Z, нм, не более |
0, | |||
|
Диапазон перемещения столика образцов, мм |
100х100 |
100х100 |
100х100 |
300х300 |
|
Привод столика образцов |
моторизованный |
ручной |
моторизованный |
моторизованный |
|
Максимальная высота образцов, мм |
100 |
40 |
210 |
100 |
|
Масса, кг, не более - основной блок; -блок электроники |
31 12 |
32 12 |
43 12 |
80 12 |
|
Габаритные размеры (ДхШхВ), мм, не более: - основной блок - блок электроники |
561х387х608 180х360х380 |
780х520х680 180х360х380 | ||
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С -относительная влажность воздуха, %, не более |
от +18 до +22 80 | |||
|
Наименование характеристики |
Модификация прибора | |||
|
OLS5100-SAF |
OLS5100-SMF |
OLS5100-EAF |
OLS5100-HSU | |
|
Напряжение питания от однофазной сети переменного тока частотой 50/60 Гц, В |
от 220 до 240 | |||
|
Потребляемая мощность, Вт, не более |
280 | |||
Знак утверждения типа
наносится на лицевую панель основного блока в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Комплектность
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Микроскоп конфокальный лазерный измерительный |
LEXT OLS5100-X, где Х: SAF (либо SMF, EAF, HSU) |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации |
- |
1 экз. |
|
Методика поверки |
- |
1 экз. |
Сведения о методах измерений
приведены в документе «Микроскопы конфокальные лазерные измерительные LEXT OLS5100. Руководство по эксплуатации», разделы 6 («Простое измерение»), 7 («Измерение профиля»).
Нормативные документы
Техническая документация фирмы-изготовителя OLYMPUS Corporation, Япония.
Другие Микроскопы
