Меры горизонтального перемещения нанометрового диапазона МПГ
| Номер в ГРСИ РФ: | 51907-12 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | ЗАО "Техносистема Н", г.Москва |
Меры горизонтального перемещения нанометрового диапазона МПГ (далее ╞ меры перемещений) предназначены для воспроизведения перемещений в латеральной плоскости при испытаниях, поверке и калибровке растровых измерительных микроскопов, сканирующих зондовых микроскопов, вертикальных сканирующих интерферометров.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 51907-12 |
| Наименование | Меры горизонтального перемещения нанометрового диапазона |
| Модель | МПГ |
| Год регистрации | 2012 |
| Страна-производитель | Россия |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | 27.11.2017 |
| Номер сертификата | 48896 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | C |
| Дата протокола | Приказ 1060 п. 08 от 27.11.2012 |
Производитель / Заявитель
ЗАО "Техносистема Н", г.Москва
Россия
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | МП 51907-12 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Актуальность информации | 17.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 51907-12: Описание типа СИ | Скачать | 372.3 КБ | |
| Свидетельство об утверждении типа СИ | Открыть | ... |
Описание типа
Назначение
Меры горизонтального перемещения нанометрового диапазона МПГ (далее - меры перемещений) предназначены для воспроизведения перемещений в латеральной плоскости при испытаниях, поверке и калибровке растровых измерительных микроскопов, сканирующих зондовых микроскопов, вертикальных сканирующих интерферометров.
Описание
В основе принципа действия меры перемещений лежит управляемая электрическим напряжением деформация исполнительного пьезоэлемента, выполненного из пьезокристаллического материала, характеризуемого пренебрежительно малым гистерезисом и ползучестью, в горизонтальном направлении. При подаче управляющего напряжения на пъезоэлемент, отсчетная поверхность меры перемещается в горизонтальном направлении.
Конструктивно мера перемещений выполнена в виде корпуса, внутри которого установлен исполнительный пьезоэлемент, на лицевой поверхности которого установлена рельефная решетка, перемещающаяся в горизонтальном направлении. Для отстройки от внешних влияющих факторов (температурный дрейф, низкочастотные колебания, ползучесть элементов конструкции и др.) управление перемещением меры осуществляется амплитудно - модулированным сигналом в виде прямоугольных импульсов напряжения, что позволяет отсчитывать перемещения по результатам измерения амплитуды переднего или заднего фронта импульса перемещения. Генерацию электрических управляющих сигналов с регулируемой амплитудой, частотой и формой обеспечивает электронная система управления (ЭСУ-06.2). Внешний вид мер перемещения и ЭСУ-06.2 представлен на рисунке 1.
Рисунок 1 - Общий вид меры горизонтального перемещения нанометрового диапазона МПГ и электронной системы управления.
Программное обеспечение
Мера перемещения МПГ оснащена программным обеспечением DAC Generator версии V1.0.1.13, предназначенным для подачи на меру импульсов напряжения с ЭСУ-06.2. Вычислительный алгоритм DAC Generator расположен в заранее скомпилированных бинарных файлах и не может быть модифицирован. ПО DAC Generator блокирует редактирование для пользователей и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице:
|
Наименование программного обеспечения |
Идентификационное наименование программного обеспечения |
Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения |
Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора программного обеспечения |
|
DAC Generator |
DAC Generator.exe |
V 1.0.1.13 |
1A22CC0ED72AEFE8 DCA51093F6EF02B6 |
MD5 |
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Защита программного обеспечения меры перемещения МПГ соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Технические характеристики
|
Диапазон перемещений, нм |
от 0 до 200 |
|
Чувствительность, нм/В, не менее |
50-10-3 |
|
Уровень собственных шумов, не более, нм |
0,2 |
|
Разрешающая способность, не более, нм |
0,2 |
|
Пределы абсолютной погрешности воспроизведения перемещений, нм |
±1.0 |
|
Сопротивление изоляции, не менее, МОм |
5 |
|
Условия применения: | |
|
Температура окружающей среды, °С |
20±3 |
|
Изменение температуры окружающей среды во время проведения измерений, °С/ч, не более |
0,1 |
|
Относительная влажность, %, не более |
80 |
|
Атмосферное давление, кПа |
100±4 |
|
Средний срок службы, лет |
10 |
|
Масса, кг |
0,135 |
|
Г абаритные размеры мер перемещения, мм диаметр высота |
38 19 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским методом и методом наклейки на корпус пластикового герметичного контейнера.
Комплектность
Поставляется в комплекте с принадлежностями в упаковке для хранения и переноски:
1. Мера горизонтального перемещения нанометрового диапазона МПГ;
2. Электронная система управления ЭСУ-06.2;
3. Кабели соединительные;
4. Программное обеспечение DAC Generator;
5. Оснастка для проведения калибровки и поверки меры;
6. Руководство по эксплуатации;
7. Методика поверки.
Поверка
осуществляется в соответствии с документом МП 51907-12 «Меры горизонтального перемещения нанометрового диапазона МПГ. Методика поверки», разработанным и утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в марте 2012 г. и включенной в комплект поставки.
Основное поверочное оборудование: прибор для измерений шероховатости поверхности с характеристиками не хуже:
• разрешение - 0,5 нм;
• вертикальное увеличение - 106;
• предел случайной погрешности - 0,3 %.
Сведения о методах измерений
Сведения о методах измерений содержатся в документе РЭ ГК.003-10. «Меры горизонтального перемещения нанометрового диапазона МПГ. Руководство по эксплуатации».
Нормативные документы
ТУ ГК. 003-10 «Меры горизонтального перемещения нанометрового диапазона МПГ.
Технические условия».
Рекомендации к применению
Выполнение работ и (или) оказание услуг по обеспечению единства измерений.
Смотрите также
