Микроскоп электронный сканирующий Inspect S50
| Номер в ГРСИ РФ: | 67731-17 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | Фирма "FEI Company", США |
Микроскоп электронный сканирующий Inspect S50, (далее - микроскоп Inspect S50) предназначен для измерений линейных размеров, формы, ориентации и других параметров наноструктур и микрорельефа поверхностей различных объектов.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 67731-17 |
| Наименование | Микроскоп электронный сканирующий |
| Модель | Inspect S50 |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | зав.№ 9923756 |
Производитель / Заявитель
Фирма "FEI Company", Чехия
Поверка
| Зарегистрировано поверок | 3 |
| Найдено поверителей | 3 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 3 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 17.11.2024 |
Поверители
Скачать
| 67731-17: Описание типа СИ | Скачать | 165.3 КБ | |
| 67731-17: Методика поверки МП 78-223-2015 | Скачать | 6.3 MБ |
Описание типа
Назначение
Микроскоп электронный сканирующий Inspect S50, (далее - микроскоп Inspect S50) предназначен для измерений линейных размеров, формы, ориентации и других параметров наноструктур и микрорельефа поверхностей различных объектов.
Для решения прикладных задач микроскоп Inspect S50 возможно совместить с рентгеновским микроанализатором.
Описание
Принцип работы микроскопа Inspect S50 основан на физических эффектах взаимодействия сфокусированного пучка электронов с поверхностью объекта (образца). Электронный луч непрерывно сканирует тот участок поверхности объекта, изображение которого формируется микроскопом. При этом каждая точка поверхности объекта, в границах поля зрения микроскопа, отображается соответствующей точкой на формируемом изображении. При взаимодействии электронного луча с поверхностью объекта единовременно возникает сразу несколько сигналов и формируется конкретное изображение в зависимости от того, какой детектор сигнала в данный момент включен.
Микроскоп Inspect S50 измеряет длину проекции геометрических расстояний на горизонтальную плоскость, т.е. расстояние между соответствующими точками на плоской и горизонтально ориентированной поверхности объекта.
Микроскоп Inspect S50 представляет собой лабораторный прибор, состоящий из основной консоли, включающей электроно-оптическую колонну; камеру образцов; вакуумной системы; блока электроники, включающего модули сканирования и обнаружения, и управляющего (серверного) компьютера типа IBM PC с программным обеспечением.
Источником электронов высокой энергии является электронная пушка микроскопа Inspect S50 с термо-эмиссионным вольфрамовым катодом.
Микроскоп Inspect S50 работает в двух операционных вакуумных режимах: высокого вакуума (HiVac) и низкого вакуума (LoVac). Ваккуумная система микроскопа Inspect S50 полностью автоматизирована.
Микроскоп Inspect S50 укомплектован следующими детекторами, позволяющими получать электронно-микроскопические изображения: детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (EDT) и детектор вторичных электронов в режиме низкого вакуума (LFD), которые позволяют получать изображения с топографическим контрастом, и 4-х сегментный твердотельный детектор обратно-рассеяных электронов (BSED), предназначенный для получения изображения с информацией о вариациях состава на основе контраста по среднему атомному номеру.
Предметный столик камеры образцов моторизирован по 4 осям (X, Y, Z и вращение) с углом наклона от минус 15° до 75°. Все движения предметного столика задаются и контролируются программным обеспечением микроскопа Inspect S50. Исследуемые образцы устанавливают в вакуумную камеру с помощью держателей: держателя для одного образца, который крепится непосредственно к предметному столику, и держателя для нескольких образцов.
Управление микроскопом Inspect S50, его настройка и обработка данных измерений осуществляются с помощью мышки и клавиатуры серверного компьютера со специализированным программным обеспечением Inspect S, подключаемым к блоку электроники. Все данные и изображения могут быть выведены на монитор управляющего компьютера, сохранены в компьютере или выведены на USB-накопитель при задании в программном обеспечении системы микроскопа Inspect S50 соответствующей команды.
Общий вид микроскопа Inspect S50 представлен на рисунке 1.
Схема пломбировки от несанкционированного доступа представлена на рисунке 2.
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа электронного сканирующего Inspect S50
Места для пломбирования
Рисунок 2 - Схема пломбировки от несанкционированного доступа, обозначение места нанесения знака поверки
Программное обеспечение
Идентификационные данные программного обеспечения микроскопа Inspect S50 приведены в таблице 1.
Уровень защиты программного обеспечения (ПО) микроскопа Inspect S50 «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Влияние ПО учтено изготовителем при нормировании метрологических характеристик микроскопа Inspect S50.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
xTm |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
4.1.13.2167 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
e3766bf9f9c518030476c1d502d904cd |
|
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
MD5 |
|
Первичный файл серверной части основного модуля интерфейса ПО |
fei systemcontrol. exe |
|
Идентификационное наименование основного модуля интерфейса ПО |
xT Microscope Server |
|
Идентификационное наименование модуля пользовательского интерфейса ПО |
xT Microscope Control (xTUl) |
|
Идентификационные наименования элементов (модулей) интерфейса ПО |
xT Microscope Server / xT Microscope Control / FEI User Management |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров, нм |
от 300 до 2-103 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, % |
±3 |
|
Разрешение, нм |
3,0 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон регулирования увеличения, крат |
от 13 до 1000000 |
|
Давление в камере, Па, не более |
140-2 |
|
Параметры электрического питания: - питающее напряжение, В - частота, Гц |
220±10% 50 |
|
Габаритные размеры, мм, не более: - длина - ширина - высота |
2170 1215 1570 |
|
Масса, кг, не более |
841 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха, °C - относительная влажность воздуха, %, не более, без конденсата |
от +15 до +25 80 |
|
Средний срок службы, лет, не менее |
10 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист «Руководства по эксплуатации» в виде наклейки.
Комплектность
Таблица 4
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Микроскоп электронный сканирующий |
Inspect S50 |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации, включающее Руководство пользователя программного обеспечения |
- |
1 шт. |
|
Методика поверки |
МП 78-223-2015 |
1 экз. |
Поверка
осуществляется по документу МП 78-223-2015 «ГСИ. Микроскоп электронный сканирующий
Inspect S50. Методика поверки», утвержденному ФГУП «УНИИМ» 22.03.2017 г.
Основные средства поверки:
Рабочий эталон единицы длины 4-го разряда по ГОСТ Р 8.763-2011, диапазон от 1 до 2-103 нм, ПГ ±(2-3) нм.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение поверяемого средства измерений с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке в виде клейма.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
ГОСТ Р 8.763-2011 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1-10-9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм
Техническая документация изготовителя «FEI Company», Czech Rebublic
Другие Микроскопы
